一,、超滑技術(shù)研究所簡介
深圳清華大學研究院超滑技術(shù)研究所（以下簡稱“超滑所”）是深圳市政府,、深圳市坪山區(qū)政府和清華大學于2018年9月共同支持成立的全球第一個結(jié)構(gòu)超滑研究機構(gòu),。超滑所坐落在深圳國家高新區(qū)兩核之一的坪山區(qū),，致力于基于結(jié)構(gòu)超滑的顛覆性技術(shù)和源頭創(chuàng)新技術(shù)的研發(fā),，同時依托深圳市“雙區(qū)”優(yōu)勢,，建設(shè)發(fā)展超滑技術(shù)全球創(chuàng)意和研發(fā)中心,，助力深圳成為全球創(chuàng)新高地，成就改變世界的創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)者,。同時,，超滑所負責創(chuàng)建和全權(quán)管理運營深圳超滑技術(shù)平臺。
2019年9月,，超滑所注冊成立產(chǎn)業(yè)化公司深圳清力技術(shù)有限公司（FrictionX,，簡稱“清力技術(shù)”），以此為依托開展企業(yè)化運作,，建設(shè)發(fā)展將結(jié)構(gòu)超滑技術(shù)成果推向市場的各項能力,。
二、結(jié)構(gòu)超滑技術(shù)
結(jié)構(gòu)超滑（Structural Superlubricity）是指兩固體表面直接接觸時，摩擦幾乎為零,、磨損為零的狀態(tài),。
摩擦與磨損作為對人類生存和發(fā)展有著重大影響的兩個基本物理現(xiàn)象，造成巨大的能源浪費和環(huán)境污染,，并使得人類夢寐以求的大量關(guān)鍵技術(shù)難以實現(xiàn),。結(jié)構(gòu)超滑技術(shù)的誕生，為相關(guān)問題的顛覆性解決帶來了曙光,。
結(jié)構(gòu)超滑的初步概念最早可追溯到上世紀八九十年代,。之后，鄭泉水課題組于2002年預(yù)言第一個超滑器件,，荷蘭Frenken院士于2004年第一次在極端條件下觀測到納米尺度的超滑現(xiàn)象,。2012年，鄭泉水課題組首次在大氣環(huán)境下實現(xiàn)了微米尺度的結(jié)構(gòu)超滑,，標志著結(jié)構(gòu)超滑技術(shù)的誕生,，并被國際權(quán)威評價為“立刻將這個現(xiàn)象的研究從學術(shù)興趣轉(zhuǎn)化到實際應(yīng)用。”隨后,，在國家和民間資金持續(xù)的大力支持下,，鄭泉水團隊在結(jié)構(gòu)超滑技術(shù)領(lǐng)域始終處于世界領(lǐng)先地位。
三,、發(fā)展方向
超滑所未來5年的主要研究方向,，聚焦在研發(fā)若干基于結(jié)構(gòu)超滑體系的、滿足重大國家需求或具有重大市場前景的革命性技術(shù)產(chǎn)品,，如基于結(jié)構(gòu)超滑的微機電系統(tǒng)（MEMS）,、微發(fā)電機、電接觸關(guān)鍵元器件,、光學平臺,、精密軸承、微納傳感器,、下一代存儲技術(shù)等,。這些產(chǎn)品將擁有極高的俘能或節(jié)能效率、極高品質(zhì),、極高壽命和結(jié)構(gòu)緊湊等特點,。另外，超滑所已建設(shè)并發(fā)展了全球領(lǐng)先的結(jié)構(gòu)超滑加工平臺
超滑所正處于快速發(fā)展時期,，5年內(nèi)將引進和打造總規(guī)模不少于50人的專業(yè)團隊,，涵蓋研發(fā)、市場,、知識產(chǎn)權(quán),、實驗室管理,、行政、財務(wù)等各項職能領(lǐng)域,，外加若干博士后（在北京清華大學或深圳）,。歡迎有志于通過結(jié)構(gòu)超滑技術(shù)改變世界的青年俊才加入。
四,、帶頭人與團隊
1,、超滑技術(shù)研究所所長
鄭泉水，中國科學院院士,，清華大學教授，清華大學微納米力學與多學科交叉創(chuàng)新研究中心主任,，清華大學錢學森力學班首席教授,，深圳零一學院（籌）創(chuàng)始院長。曾任清華大學工程力學系系主任,、校學術(shù)委員會秘書長,。曾任中國力學學會旗艦雜志《力學學報》和Acta Mechanica Sinica主編、中國力學學會副理事長,。
鄭泉水創(chuàng)建了完整的本構(gòu)方程張量函數(shù)表示理論,，開創(chuàng)了結(jié)構(gòu)超滑理論與應(yīng)用技術(shù)，于2004年和2017年兩次獲得國家自然科學二等獎（第一獲獎人）,。
2,、核心團隊
駱淑萍，超滑技術(shù)研究所所長助理,、深圳清力技術(shù)有限公司董事長兼總經(jīng)理,。
彭德利，超滑技術(shù)研究所所長助理,，博士畢業(yè)于清華大學航天航空學院,，師從鄭泉水院士。
向小健,，超滑技術(shù)研究所研究員,，研發(fā)項目經(jīng)理，博士畢業(yè)于上海交通大學,。
田凱文,，超滑技術(shù)研究所研究員，博士畢業(yè)于賓夕法尼亞大學,。
聶錦輝,，超滑技術(shù)研究所博士后，博士畢業(yè)于中國科學院北京納米能源與系統(tǒng)研究所,，師從王中林院士,。
林立宇，深圳清力技術(shù)有限公司高級工程師，博士畢業(yè)于韓國延世大學機械工程專業(yè),。
胡國鋒,，深圳清力技術(shù)有限公司研發(fā)工程師，博士畢業(yè)于中科院大學半導(dǎo)體研究所,，深圳市高層次人才,。
王 林，超滑技術(shù)研究所博士后,。
李瑞云,，超滑技術(shù)研究所博士后。
3,、顧問委員會
黃克智,，清華大學教授，清華大學微納中心顧問名譽主席,，中國科學院院士,，固體力學專家。
Joseph Klafter,，以色列國家科學最高獎獲得者,，美國藝術(shù)與科學研究院院士，表界面物理與化學專家,。
Gabriel Aeppli,，美國科學院院士和藝術(shù)與科學研究院院士，英國皇家學會院士,，蘇黎世聯(lián)邦理工學院和瑞士洛桑聯(lián)邦理工學院教授,，納米技術(shù)和凝聚態(tài)物理專家。
雒建斌,，中國科學院院士,，清華大學教授，摩擦學和微納制造領(lǐng)域?qū)＜摇?span>
王中林,，中國科學院外籍院士,，歐洲科學院院士，中國科學院北京納米能源與系統(tǒng)研究所所長,，納米能源領(lǐng)域?qū)＜摇?span>
謝和平,，中國工程院院士，深圳大學特聘教授,，前四川大學校長,，能源力學專家。
Robert Carpick,，美國賓夕法尼亞大學教授,，納米摩擦學專家,。
Michael Urbakh，以色列特拉維夫大學教授,，納米摩擦學專家,。
陳朝暉，前華為高級副總裁,，香港優(yōu)克聯(lián)集團有限公司首席執(zhí)行官,。
4、合作伙伴
Ernst Meyer,，瑞士巴塞爾大學教授,、納米摩擦學專家。
田川 憲男,，日本關(guān)西大學教授,，硬盤摩擦學專家。
David Srolovitz,，美國工程院院士,，香港城市大學教授,，理論與計算材料科學專家,。
葉乃裳，前全球華人物理學會會長,、美國加州理工學院教授,，實驗?zāi)蹜B(tài)物理和納米材料專家。
李志宏,，北京大學教授,，微納加工和MEMS專家。
五,、科研成果與產(chǎn)品展示
結(jié)構(gòu)超滑技術(shù)是一項誕生于清華大學的革命性平臺技術(shù),，有潛力源源不斷地催生出重大源頭技術(shù)集群。目前,，超滑所在結(jié)構(gòu)超滑底層技術(shù),，以及基于結(jié)構(gòu)超滑技術(shù)的微發(fā)電機、MEMS開關(guān),、導(dǎo)電滑環(huán),、機械硬盤、諧振器等顛覆性應(yīng)用技術(shù)方面的研發(fā)已取得重要進展,，通過了國內(nèi)外幾十項專利,。
六、科研條件
超滑所實驗室暨深圳超滑技術(shù)平臺擁有世界一流的結(jié)構(gòu)超滑研發(fā)和微納加工設(shè)備及能力,，并對外開放服務(wù),。
平臺總使用面積3700平方米,，其中潔凈實驗室面積達1000平方米（百級潔凈區(qū)130平方米，千級潔凈區(qū)870平方米）,，包括一條完備的3-6英寸超滑MEMS/NEMS微納器件加工研發(fā)線,，其中部分設(shè)備可實現(xiàn)8英寸基片加工。
平臺擁有光刻設(shè)備,、薄膜沉積設(shè)備,、刻蝕設(shè)備、表征測試設(shè)備,、器件后道封裝設(shè)備以及自主研發(fā)的超滑實驗設(shè)備等共計200余臺套設(shè)備,，其中40余臺主要設(shè)備包括：
1.圖形化設(shè)備：電子束曝光、激光直寫,、臺式接觸式光刻機,、桌面式光刻機等；
2.薄膜沉積設(shè)備：LPCVD,、磁控濺射,、電子束蒸發(fā)鍍膜、PE-ALD,、PECVD等,；
3.刻蝕設(shè)備：ICP、RIE,、IBE,、DRIE深硅刻蝕（BOSCH工藝）等干法刻蝕設(shè)備和滿足體硅、金屬氧化物,、金屬等的濕法刻蝕設(shè)備,，以及相配套的二氧化碳超臨界釋放設(shè)備；
4.表征和測試設(shè)備：AFM,、臺階儀,、SEM、FIB,、共聚焦顯微鏡,、白光干涉儀、紅外熱成像儀,、FEMTO-TOOLS微納力學測試儀,、超高速相機、3D多普勒激光測振儀,、DC/RF探針臺（60GHZ）,、網(wǎng)絡(luò)分析儀（60GHz）、半導(dǎo)體分析儀,、阻抗分析儀以及高精度電學儀表等,；
5.器件封裝設(shè)備：晶圓減薄,，CMP拋光，電鍍（Au,、Ag,、Cu、Ni,、Sn等）,，晶圓鍵合，貼片機,、劃片機,，打線機，固晶機,，激光焊接機等,；
6.團隊自主研發(fā)的加工設(shè)備，封測設(shè)備,。
超滑技術(shù)平臺基于已有設(shè)備,，對外提供工藝整合、共同工藝開發(fā)等技術(shù)服務(wù),，目前已整合的先進工藝包括：導(dǎo)電DLC膜層工藝,，AlN/PZT薄膜工藝，大尺寸高定向碳材料生長和器件加工工藝,，陽極鍵合,，研磨減薄和原子級拋光工藝,，硅基全濕法刻蝕工藝,，柔性襯底微納器件加工。同時提供業(yè)內(nèi)通用制造能力：硅通孔（TSV）和玻璃通孔（TGV）的加工,，壓力/氣體/紅外/濕度傳感器的流片,，微流控芯片加工和相關(guān)測試，以及超滑射頻/慣性器件加工能力,。
隨著深圳超滑技術(shù)平臺的落成運營,，在團隊的努力下，結(jié)構(gòu)超滑工藝方面已取得諸如實現(xiàn)石墨島批量制造,、石墨島從鍍膜-光刻-IBE刻蝕的加工等重要突破,。
合作聯(lián)系
歡迎相關(guān)單位、企業(yè),、科技工作者與我們進行各種形式的合作,。
同時我們也求賢若渴，期待并歡迎優(yōu)秀的人才加入我們,！
聯(lián)系電話：0755-89458687,；18801006279（彭先生）
電子郵箱：[email protected]
通訊地址：深圳市坪山區(qū)龍?zhí)锝值捞m景中路16號國富文化創(chuàng)意產(chǎn)業(yè)廠區(qū)A座6層 郵編：518118
深圳清華大學研究院超滑所辦事處地址：深圳市南山區(qū)科技園南區(qū)深圳清華大學研究院B411室 郵編：518057
